微型真空泵是一種小型化和高效率的真空抽氣設(shè)備，其工作原理主要涉及動(dòng)態(tài)密封和氣體分子的運(yùn)動(dòng)。
微型真空泵通常由電機(jī)、葉輪、靜葉片、動(dòng)葉片和內(nèi)部腔體等部分組成。
1. 電機(jī)驅(qū)動(dòng)：電機(jī)通過連桿傳動(dòng)或直接連接，將動(dòng)力傳遞給葉輪，使其旋轉(zhuǎn)。
2. 動(dòng)葉片和靜葉片：葉輪上有多個(gè)動(dòng)葉片和靜葉片，它們之間形成了密封腔。在旋轉(zhuǎn)過程中，動(dòng)葉片在離心力的作用下向外伸展，與靜葉片形成氣密密封。
3. 氣體抽入：當(dāng)葉輪旋轉(zhuǎn)時(shí)，腔體內(nèi)部由于離心力的作用，壓力下降，形成真空。氣體沿著進(jìn)氣口進(jìn)入腔體，然后被葉片密封，并隨著葉輪的旋轉(zhuǎn)逐漸被排出。
4. 泵出：在真空狀態(tài)下，葉片的旋轉(zhuǎn)將氣體從進(jìn)氣口轉(zhuǎn)移到泵出口。在這個(gè)過程中，氣體被壓縮和排出。
5. 防回流：真空泵通常會配備非回流裝置，以防止被抽出的氣體倒流回系統(tǒng)。
總之，微型真空泵利用旋轉(zhuǎn)葉片的動(dòng)態(tài)密封和離心力的作用，通過連續(xù)抽氣和排氣的過程來實(shí)現(xiàn)氣體的抽出和排除，從而形成真空狀態(tài)或降低氣體壓力。這種工作原理使得微型真空泵適用于許多領(lǐng)域，如儀器設(shè)備、醫(yī)療、半導(dǎo)體制造等。
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