專(zhuān)利摘要顯示，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N單晶爐真空系統(tǒng)及晶體直拉生長(zhǎng)設(shè)備，其中，單晶爐真空系統(tǒng)包括排氣管組、過(guò)濾裝置及真空泵裝置；所述排氣管組的一端與單晶爐的爐底連通；所述排氣管組的另一端與所述過(guò)濾裝置的進(jìn)氣口連通；所述真空泵裝置與所述過(guò)濾裝置的出氣口通過(guò)真空管道連通；所述真空泵裝置包括多個(gè)真空泵，所述多個(gè)真空泵通過(guò)真空管道串聯(lián)或并聯(lián)。本申請(qǐng)將多個(gè)真空泵通過(guò)真空管道串聯(lián)或并聯(lián)方式組成真空泵裝置，可以在不改變真空泵性能的情況下，提升真空泵裝置的抽真空性能，實(shí)現(xiàn)低爐壓效果，有效降低晶棒的電阻率衰減速率。
