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微型真空泵有以下幾種類型：

 

1. 微型旋轉(zhuǎn)式真空泵：利用旋轉(zhuǎn)葉片的運動創(chuàng)建真空。

 

2. 微型離心式真空泵：通過離心力將氣體排出來，以達到真空狀態(tài)。

 

3. 微型膜式真空泵：利用膜片的振動來吸入和排出氣體。

 

4. 微型擴散式真空泵：利用擴散過程使氣體稀釋和排出來。

 

5. 微型吸附式真空泵：通過吸附物質(zhì)吸附氣體分子來實現(xiàn)真空。

 

這些微型真空泵可以根據(jù)不同的應用需求進行選擇。